超高真空全金属插板阀 | 为大科学装置研究而生

HTC日扬科技设计的全金属插板阀适用于超高真空的环境下（10⁻⁸Pa～10⁻⁹Pa），采用HTC Disc金属密封技术，其压力范围一般在UHV~1.2bar(abs)，漏率zui di能做到<1×10⁻¹⁰ mbar・L/s的可靠密封。依据开启方式不同分为手动/气动式，以及是否有shielding射频屏蔽功能，可实现耐温150℃~250℃不等。近年来在国内的大科学装置研究、表面分析和半导体制造项目中，已经有许多成功试装案例，其zhuo yue可靠性得到市场验证。

全金属插板阀多用于高能物理实验室项目之中，故有着阻断射频信号泄漏 / 侵入，保障粒子束传输稳定的需求，于此要求插板阀带有射频屏蔽功能。此外，低漏率、耐高温、高洁净度、抗辐射、高寿命以及稳定可靠是衡量一款全金属插板阀优秀的重要标准，在这方面，日扬配合客户成功研制出CF35、CF63和DF78等型号的全金属插板阀，成为为数不多实现技术突破的国产厂商。

2020年，日扬与SHINE项目合作，在国内硬X射线自由电子激光装置项目之中，shou ci攻破全金属插板阀的金属与金属间硬密封、高精度定位等关键技术难题，并且样机成功交付，该全金属高频屏蔽门阀被安装在超导加速器电子束流通道中，工作在超高真空、超洁净、液氦低温、射频场和电离辐射复杂环境条件下。

此后数年，日扬科技相继在CF35、CF63等尺寸阀门上获得突破。依据客户不同的实际环境需求，其他尺寸也在开发中，并持续提高性能、优化数据以真正实现国产替代，为国内的大科学装置研究贡献力量。