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粉尘问题 | 从主机台腔体到尾气处理的全链路解决方案
在半导体制造的CVD、ALD、ETCH等等核心制程中，微纳米级粉尘的产生几乎不可避免。这些粉尘来自于工艺反应的固态副产物，或者是设备部件磨损的碎屑，常与腐蚀性气体混合，看似微小，却会引发全产线的“堵塞危机"。从主机台腔体、真空管道到尾气处理系统，都可能成为粉尘堆积的重灾区。
-粉尘堵塞问题- • 需要频繁停机清洁管路，增加运维成本 • 常与腐蚀性气体结合，加速设备与零件磨损 • 制程腔内受到污染，拉低产品良率 • 粉尘堆积-设备磨损-更多粉尘-更频繁维护 全链路粉尘问题解决方案Total Solution CVD/ALD/Dry Etch/EPI等制程设备 ▪ 真空阀门、腔体的客制化设计与生产 ▪ 真空管路设计及零配件的全链路供应 ▪ Cyclone/Cold Trap粉尘分离器供应 ▪ 减少反应腔粉尘颗粒污染 真空泵服务 ▪ Pump防腐抗粘黏涂层WEH®涂装 ▪ Fore Line管道优化涂层WEH®涂装 ▪ 24/7 真空泵阀全天候维修中心 ▪ 全新泵/二手泵阀买卖维修服务 真空泵到日扬Wet SCR ▪ 排气管道工程设计与制造安装 ▪ 零部件涂装防粘防腐涂层WEH® ▪ 微气泡负压型Wet Scrubber减少堵塞 日扬Wet SCR到Burn SCR ▪ 管道工程设计与制造安装 ▪ 管道外节能加热带HIM系统 ▪ 管道内耐高温防腐涂层WEH® ▪ 负压增强器P2A-PVC/PTFE,增大吸力 防堵塞核心：WEH®涂层和Wet SCR设备 微气泡负压型湿式除尘器（wet Scrubber）高达-25kpa吸力可抽取fore line管路的粉尘避免积压，设备中高达95%的粉尘去除率可缓解后端管路堵塞难题，保证Burn SCR的正常运行。 1 微气泡负压型Wet SCR 点击左侧产品图片，了解更多 解决Dry Pump、Pump Line、Scrubber和排气主管道的粉尘阻塞问题，粉尘去除率高达95%，延长PM周期实现zui you稼动率 —M600型号Wet SCR介绍— —Wet SCR排气湿度监测— WEH®涂层负责缓解真空泵以及管路中的粉尘粘黏和腐蚀问题，配合加热带的使用让涂层性能更优，从已验证的大厂案例中看，普遍能延长堵塞周期2-40倍，节省大笔维保费用。 2 真空纳米涂层WEH®和NFH® 点击左侧产品图片，了解更多 该涂层有着良好的疏水性、耐温性、抗腐蚀性以及高硬度、低粗糙度的优点，可以提高零件的使用寿命，降低管道堵塞风险。NFH®为不含氟版本。
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