EXT255DX Edwards EXT复合涡轮分子泵
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
*并口,用于传统控制信号接口
* 串口,用于RS-232接口。
通过RS-232接口,用户可以设置各种参数RS-232。
* 放气阀控制设置。
* 正常泵速显示。
* 准备转速显示。
* 功耗。
* 泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
EXT255DX Edwards EXT复合涡轮分子泵
技术数据
前级泵也可以使用抽速更大的旋片泵,还可使用极限真空小于5mbar的隔膜泵。
* 超出该入口压力时,转速为额定转速。
** 此时功率160W。
*** 没安装入口筛网。安装筛网时,泵速下降约10%。
前级泵为两级旋片泵,并烘烤48小时。
Pb <5 mbar(500 Pa)并烘烤48小时。