深圳市科锐诗汀科技有限公司
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MKS质量流量计
MKS GE250A和GE300A质量流量控制器
MKS GE250A和GE300A质量流量控制器

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产品详情

多气体,多量程,弹性体密封的100至300slm质量流量控制器

G系列GE250A和GE300A质量流量控制器是通用的,弹性体密封的MFC,适用于多种应用。GE250A的满量程范围为100到250 slm(相当于N 2)。GE300A的满量程范围为150到300 slm(相当于N 2)。利用最新的控制算法,对模拟I / O或数字I / O均可用,以快速,可重复地响应设定值。

·        流速从100到300 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件

·        多种数字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA)I / O

·        标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

·        1-2秒建立时间

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