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大型凸轮传输阀 | 驱动原理和应用全解析
大型凸轮式传输矩形阀是一款专为光伏、新能源行业的真空环境制程而设计的大尺寸传输阀，采用凸轮驱动结构实现精准开闭，运动平滑且低冲击力，性能稳定，主要用于光伏行业大型真空腔室间的硅片等物料的传输。
-凸轮式矩形传输阀- • 适用于真空镀膜系统大尺寸工件传输 • 凸轮式机械传动结构，平滑且低振动 • 运行时间长且性能不受限 • 搭配水冷降温设计适应复杂工况 • 可选配止回阀实现断电保护 大型凸轮传输阀-侧面视角 阀门采用创新式单凸轮、双弹簧结构设计以及更合理的气路布置，可大幅减少作动时X/Y轴方向的震动，保证内部结构的稳定性，也降低了阀门维护周期和潜在的事故率。 阀门水冷设计 阀体与密封件可耐受≤120℃高温，驱动件耐温≤80℃，光伏行业制程比如硅片激光刻蚀、镀膜等工序极易产生高温，搭配阀门水冷设计可适应更多复杂工况。 —凸轮传输阀展出现场—
